Cluster-Tool für 2D-Elektronik im ForLab Bochum: Artikel im Magazin Silicon Semiconductor

Das kundenspezifische, einzigartige Fünfkammer-Cluster-Tool für 2D-Elektronik des Forschungslabor Bochum war in der Beschaffung und Umsetzung aufgrund der Komplexität und Interdisziplinarität herausfordernd – nicht nur für eine Universität: Auch der Anlagenhersteller musste sich auf Neuland begeben. Inzwischen läuft das System seit zwei Jahren erfolgreich und eröffnet für die Forschung an der 2D-Elektronik neue Möglichkeiten. Über die Entstehungsgeschichte und die besonderen Möglichkeiten dieses Clusters ist ein Artikel im Magazin Silicon Semiconductor erschienen.