Zum Hauptinhalt springen Zur Navigation springen Zum Kontakt springen

    Mikroelektronikforschung an der Ruhr-Universität Bochum

    Der Lehr­stuhl für Mikrosystemtechnik befasst sich mit allen Aspekten Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS) sowie bestimmten Themen der 2D-Halbleiter, von der Idee bis zur Fertigung im Reinraum. Forschungsschwerpunkte sind neue Konzepte der 2D-Elektronik, zeitintegrale Sensoren, die Mikroaktorik, die Mikro-Nano-Integration sowie die Systemintegration für spezifische Anwendungsfelder.

    Das „Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für 2D Elektronik“ – ForLab Bochum stellt wesentliche Basistechnik der Mikrosystemtechnik und der 2D-Halbleitertechnik auf Substraten bis 200 mm Durchmesser zur Verfügung. Darüber hinaus werden Geräte im Zentrum für Grenzflächen-dominierte Höchstleistungswerkstoffe betreut und genutzt, insbesondere die dort vorhandenen Anlagen zum Plasma-basierten Ätzen.

    Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen. Dazu gehören u.a. ein PVD-Cluster zur Abscheidung dünner Schichten aus Metall, Metalloxiden oder -nitriden, ein ALD-Cluster zur Abscheidung von 2D Schichten, sowie deren Ätzung im ALE oder RIE Verfahren. Zur Strukturierung der Schichten stehen ein Laserlithographiesystem und ein MaskAligner zur Verfügung.

    Die elektrische Charakterisierung erfolgt mittels Semiconductor Parameter Analyzern, Lock-In Technik (bis f = 200 MHz) und Kapazitäts-Spannungs-Messgeräten. Ein REM und ein AFM ermöglichen die Analyse der Topographie und Morphologie der Dünnschichten. Ein Drop-Shape-Analyzer dient zur Messung der Oberflächenenergie. Ein Ellipsometer dient zur Schichtdickenbestimmung und Bestimmung der Brechungsindizes. Zusätzlich stehen ein Konfokalmikroskop und mehrere Lichtmikroskope zur Verfügung.

    Infrastruktur

    Umfeld

    Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für 2D Elektronik

    Projekt ForLab PICT2DES

    Zentrum für Grenzflächendominierte Höchstleistungswerkstoffe (ZGH)

     

    Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 

    Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik 

    • Mikro-Elektro-Mechanische Systeme (MEMS)
    • Neue Konzepte der 2D-Elektronik
    • Zeitintegrale Sensoren
    • Mikroaktorik
    • Mikro-Nano-Integration
    • Systemintegration für spezifische Anwendungsfelder

    Weitere Forschungsprojekte

    • FLEXMOS2: Flexible Hochgeschwindigkeits-Dünnfilmtransistoren und -Schaltungen basierend auf großflächig hergestellten zweidimensionalen Übergangsmetall-Dichalkogenide (TMDs)
    • MARIE: Mobile Material Characterization and Localization by Electromagnetic Sensing
    • KOMMMA: Räumliche Aktorik auf der Basis von wechselwirkenden elektrostatischen Effekten und deren Kontrolle
    • KOMMMA – Kick and Catch: Kooperative Mikroaktoren für frei bewegliche Plattformen
    • ForMikro – FlexTMDSense: Erforschung neuartiger,  flexibler  Sensorsysteme  auf Basis zweidimensionaler  Materialsysteme
    • ForMikro – UpFUSE: Erforschung passiver Funk-Sensorsysteme zur energieautarken Erschütterungs- und Vibrationsüberwachung
    • BMBF-Projekt PaSiC: Silicium-Keramik-Hybridsubstrat als Integrationsplattform für photoakustische und optische Anwendungen
    • terahertz.NRW

     

    Lehre

    Sonstiges

    Studiengänge

    Die Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik bietet zwei deutschsprachige Studiengänge und einen englischsprachigen Studiengang an:

    Auslandsaufenthalte und Double Degree

    ForLab-NataliE: Forschungslabore Mikroelektronik Deutschland – Nachwuchstalente für die integrierte Elektronik

    Freiwilliges Wissenschaftliches Jahr (FWJ) an der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

    Artikel zur aktuellen Forschung im Wissenschaftsmagazin RUBIN der RUB: „Tropfenballett im Miniaturwunderland“ (english version here)

    Mehrere Artikel des ForLab Bochum im Newsletter mit Schwerpunkt Mikrosystemtechnik des Materials Research Department (MRD) an der Ruhr-Universität Bochum