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    Mikroelektronikforschung an der BTU Cottbus-Senftenberg

    Infrastruktur

    Umfeld

    Forschungsreinraum Senftenberg

    Fachgebiet Experimentalphysik und funktionale Materialien

    • Optoelektronische Bauelemente: Verbindung von Nanostrukturierung mit Materialintegration für maßgeschneiderte optische Eigenschaften
    • Materialforschung: Integration von Sn-haltigen Legierungs-Halbleitern auf Si

    Fachgebiet Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie

    • CMOS-kompatible Herstellung von Ceroxid-basierten Sensorschichten auf nanostrukturiertem Silizium
    • In-situ und operando Charakterisierung und –optimierung von ALD-Beschichtungsprozessen
    • Mikrospektroskopische Materialcharakterisierung von 2D- und Sensormaterialien

    Fachgebiet Allgemeine Elektrotechnik

    • Analyse von Festkörperoberflächen auf Textur und Materialzusammensetzung
    • Untersuchung & Methodenentwicklung an Halbleiter-Strukturen, -Bauelementen und Baugruppen

    Fachgebiet Halbleitermaterialien

    • Erforschung neuer Materialien für künftige Bauelemente der Mikroelektronik

    Fachgebiet Mikro- und Nanosysteme

    Großprojekte:

    • Innovationscampus Elektronik und Mikrosensorik (iCampμs), Gesamtvolumen 20 Mio. Euro, Laufzeit 2022 – 2026
    • »Optoelektronische Sensoren für anwendungsnahe Systeme für Lebenswissenschaften und intelligente Fertigung« (OASYS), Gesamtvolumen 12,5 Mio. Euro, Laufzeit 2023-2028

    Lehre

    Sommerschule „Characterization of micro- and nano-materials“